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微电子材料

时间:2026-09-25 05:45:00 浏览:951次

微电子材料

微电子材料,就是一种由GeSi合金和宽禁带合成的半导体材料。

主要是大直径(400mm)硅单晶及片材技术,大直径(200mm)硅片外延技术,150mmGaAs和100mmInP晶片及其以它们为基的III-V族半导体超晶格、量子阱异质结构材料制备技术,GeSi合金和宽禁带半导体材料等。

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标签:微电子材料,微电子,材料

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