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驻波效应

时间:2026-10-16 14:37:00 浏览:925次

驻波效应

光刻胶曝光时,光线透过光刻胶照射在硅(Si)衬底上,在光刻胶和衬底的界面处,光线会被反射,这些反射光和入射光会形成干涉,使得光强沿胶深方向的分布不均匀,形成驻波效应。

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标签:驻波效应,驻波,效应

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